A műszaki tisztaság a ZEN alapvető szoftverének termékcsaládjába tartozik az ipari mikroszkópiás ágazaton belül. A részecskék osztályozásának optimalizálása érdekében a ZEISS elérhetővé teszi a ZEISS ZEN alapvető felhasználóinak a műszaki tisztasági elemzési (Technical Cleanliness Analysis, TCA) megoldást, amely három, gépi tanuláson alapuló, előre betanított modult tartalmaz. A modul segítségével a részecskék a megvizsgált képen található mért paraméterek alapján osztályozhatók. A mintákat három, előre betanított gépi tanulási modell elemzi, amelyek betanítását a felhasználók és az ügyfelek is végezhetik. A mintákat szürkeárnyalatos meghatározás alapján elemzik, az objektumok osztályozásához előre betanított gépi tanulási modell pedig az új TCA munkasablonokban a háttérben fut, miközben a rendszer párhuzamosan ellenőrzi a típusok osztályozását a meglévő részecskemérések eredményei alapján. Ez a gépi tanulási algoritmusokkal végzett típusosztályozási kiegészítő ellenőrzés „megnézi” a többek között a méreten, a formán, az intenzitáson és a típusosztályozáson végzett klasszikus elemzés által szerzett részecskeeredményeket, majd kombinálja a különböző jellemzőket számos, nem korrelált döntési fába. Az eredményeket a rendszer egyenként kiértékeli az egyes döntési fák esetében, ehhez pedig az objektumosztályozási modellnek betanított osztályozást használja. Ennek eredményeképpen születik meg a részecsketípus automatikus becslése.

Különböztesse meg a részecskéket mennyiség, méreteloszlás és morfológia szerint, és tegyen különbséget a fémes és a nem fémes részecskék, valamint a szálak között egészen 2 μm nagyságig. Készítsen tisztasági jelentéseket az ipari szabványoknak megfelelően.

Jellemezze a folyamat szempontjából kritikus részecskéket, és azonosítsa a kritikus részecskéket a korrelációs mikroszkópia alkalmazásával, amely egyetlen munkalépésben kombinálja a fény- és elektronmikroszkópból származó adatait.

Mérje meg a részecskék morfológiai jellemzőit és használja a teljes mértékben automatizált alapvető elemzést a részecskék kémiai összetevők szerinti osztályozásához. A ZEISS SmartPI elektronmikroszkópokhoz készült részecskeelemző szoftvere automatizálja a részecskék észlelését, elemzését és osztályozását, miközben egyetlen alkalmazásba sűríti a mikroszkópos ellenőrzést, a képfeldolgozást és az alapvető elemzést.