Csúcstechnológiájú FIB-SEM

ZEISS Crossbeam

Célzottan a harmadik dimenzióhoz

A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) és a fókuszált ionnyaláb (FIB) kombinációja lehetővé teszi, hogy a legkisebb területen (nanométeres tartományban) célzottan vágjunk az anyagba, és közvetlenül vizsgáljuk a felszín alatti anyagszerkezetet. Tipikus alkalmazások közé tartozik a helyi hibák pontos lokalizálása és kémiai elemzése (EDX). ​

  • Best 3D resolution in FIB-SEM analysis
  • Two beams, ions, and electrons
  • Sample preparation tool
  • Extended use thanks to the optional femtosecond laser
  • EDS, EBSD, WDS, SIMS, plus more on request

ZEISS Crossbeam az ipar számára

Tapasztaljon meg az új minőséget a mintavizsgálatban

Készítsen vékony lamellákat TEM (transzmissziós elektronmikroszkópia) vagy STEM (pásztázó transzmissziós elektronmikroszkópia) elemzéshez. A ZEISS Crossbeam teljes körű megoldást kínál a TEM-lamellák elkészítéséhez, akár sorozatban is. ​

Az ionsugaras mintamegmunkáláshoz használt FIB-oszlop alacsony feszültségű képességei támogatják a kiváló minőségű lamellák előállítását, és elkerüli a kényes minták amorfizálódását. Használjon egyetlen egyszerű munkafolyamatot az elinduláshoz, és várja meg az automatikus végrehajtást. Használja ki a végpontfelismerő szoftver előnyeit, amely pontos információt nyújt a lamella vastagságáról.

Az opcionális femtoszekundumos lézer az anyageltávolításhoz és a mélyebb struktúrákhoz való könnyebb hozzáféréshez, valamint a nagy méretű minták előkészítéséhez használható.

Alkalmazási területek áttekintése

  • Helyi keresztmetszetek, pl. hibahelyeken (vékony rétegek növekedési hibái, korrózió, zárványok stb.)
  • TEM-lamella előkészítése
  • Nagy felbontású keresztmetszeti vizsgálatok transzmissziós módban (STEM)
  • Mikroszerkezet vagy helyi hibák 3D-s tomográfiája
  • Szerkezetek átalakítása célzott anyageltávolítással

Tudjon meg többet a ZEISS Crossbeamről szóló videóinkból

  • Gyors 3D-s hibaelemzés. Megoldás korrelatív munkafolyamatra a ZEISS-től.

  • ZEISS Crossbeam lézer: Optimalizálja és automatizálja a folyamatokat a LaserFIB segítségével

  • Tudjon meg többet a minta volumetrikus elemzésének munkafolyamatáról.

  • Nézze meg a korrelatív munkafolyamat-megoldásunkról szóló videót! Ismerje meg, hogy a ZEISS megoldásai segítségével milyen egyszerűen használhatja adatait a különböző technológiákban, és hogyan érhet el megbízható és hatékony eredményeket.
    Gyors 3D-s hibaelemzés. Megoldás korrelatív munkafolyamatra a ZEISS-től.
  • 1. Nyerjen gyors hozzáférést a mélyebb szerkezetekhez 2. Végezze a lézeres munkát egy külön erre a célra kialakított integrált kamrában, hogy fenntartsa a FIB-SEM főkamra és a detektorok tisztaságát 3. Automatizálja a lézeres megmunkálást, a polírozást, a tisztítást és a minta FIB-kamrába történő átvitelét 4. Készítsen több mintát, pl. keresztmetszetek, TEM-lamellák, oszloptömbök Dolgozzon hatékonyan a különböző anyagokhoz előre telepített procedúrák használatával
    ZEISS Crossbeam lézer: Optimalizálja és automatizálja a folyamatokat a LaserFIB segítségével
  • Fedezze fel a minta volumetrikus elemzésének munkafolyamatát, egy új eszközt, amely képes megoldani a összetett anyagszerkezetű anyagokkal kapcsolatos kihívásokat egyetlen korrelatív keretrendszerben. Ez a munkafolyamat különböző mikroszkópiai technikák alkalmazásával lehetővé teszi a felhasználó számára, hogy megértse az egyes nagyságrendekhez kapcsolódó anyagtulajdonságokat.
    Tudjon meg többet a minta volumetrikus elemzésének munkafolyamatáról

FIB-SEM hibaelemzés autókarosszéria-elemeken

  • A jobb gyártási minőségnek és a legmodernebb felületkezelési technológiáknak köszönhetően a hibák ma már kisebbek és kevésbé gyakoriak. Ezért mikroszkópos módszereket kell alkalmazni a felületi hibák és azok kiváltó okainak felkutatására, lokalizálására, előkészítésére és kivizsgálására. Ez a brosúra egy korrelációs mikroszkópiás megközelítést mutat be a hibaelemzés során végzett hatékony vizsgálathoz.

  • 01 Lézerrel mart árok ráhelyezése a vizsgált terület fénymikroszkópos képére.

    Ennek keretében a fénymikroszkópos feladatokat a ZEISS Smartzoom 5 digitális mikroszkóp kezeli, a preparálást és a vizsgálatot a ZEISS Crossbeam lézerrel végzik el, majd a két rendszert a ZEISS ZEN Connect kapcsolja össze a hibák helyének FIB-SEM-ben történő ismételt pontos meghatározásához.

  • 02 Lézerrel mart keresztmetszet a felületi hibán keresztül, a gyanús jellemző a festékrétegek alatt látható; SEM, SESI, 50x.

    Ahhoz, hogy ritka eloszlású és kis méretű hibák gyökérokát megtalálják a nagy méretű mintákon, a hatékony hibaelemzéshez az érdekes régiók lokalizálásának, dokumentálásának, újbóli lokalizálásának, előkészítésének és kivizsgálásának kényelmes munkafolyamata szükséges. ​

  • 03 Gyanús jellemző az alapanyagban a festék alatt, lézerrel mart felület; SEM, SESI, 450x.

    A fókuszált ionnyalábbal működő pásztázó elektronmikroszkópok (FIB-SEM) leküzdik a hagyományos materialográfiai mintaelőkészítés korlátait. Mivel azonban az elektronmikroszkópok jellemzően korlátozott látómezővel rendelkeznek, a lokalizációs lépést néha egyszerűbb fénymikroszkópon elvégezni. Ezért a felhasználóknak olyan rendszerre van szükségük, amely lehetővé teszi számukra, hogy a fénymikroszkópban lokalizálják a képterületet, majd a FIB-SEM-ben keressék vissza.

  • 04 FIB polírozás után: jó felületi minőség egyértelműen megkülönböztethető jellemzőkkel; SEM, InLens, 450x.

    A ZEISS ZEN Connect szoftvermegoldás a ZEISS ZEN Data Storage szoftverrel kombinálva pontosan ezt nyújtja. A ZEISS Crossbeam család új femtoszekundumos lézere nagy területeken is helyspecifikus preparálást tesz lehetővé. Az fs-lézer, az FIB keresztmetszet-csiszolás és az EDS-elemzés segítségével a fenti példában a felületi hibák okaként szénszálmaradványokat határoztak meg. ​

  • 05 EDS elemtérkép az FIB-bel polírozott területről; sárga: C intenzitás, kék: Al intenzitás, rózsaszín: Ti intenzitás, piros: Si intenzitás.

    A korrelatív mikroszkópiás megközelítés lehetővé teszi egynél több terület hatékony vizsgálatát is. Ezt követően minden eredmény egy összefüggő projektben kerül mentésre, a ZEISS ZEN Data Storage opció pedig biztosítja a teljes hozzáférést a további vizsgálatokhoz vagy jegyzőkönyvezéshez.

A lézerrel mart árok ráhelyezése a vizsgált terület fénymikroszkópos képére; SEM, SESI, 450x. ​

Letöltések



Kapcsolatfelvétel

Érdekli termékeink vagy szolgáltatásaink további megismerése? Örömmel állunk rendelkezésére további részletekkel vagy egy élő bemutatóval, akár távolról, akár személyesen.

További információra van szüksége?

Vegye fel velünk a kapcsolatot. Szakértőink visszahívják Önt.

Űrlap betöltése folyamatban...

/ 4
Következő lépés:
  • Érdeklődés Érdeklődés
  • Személyes adatok
  • A vállalat részletei

Ha további információra van szüksége a ZEISS adatkezeléséről, olvassa el az adatvédelmi tájékoztatót